二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 110 #9394210 待售

ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 110
ID: 9394210
晶圆大小: 3"-6"
Flim stripper, 3"-6".
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 110是为高精度光刻应用而设计的光刻设备。该系统采用专有的光刻技术,在工艺的各个阶段结合了多种先进的光刻技术。光致抗蚀剂单元可用于深紫外线、近紫外线、真空紫外线照射等光刻工艺,对细间距结构具有高分辨率成像能力。光刻机提供卓越的分辨率,特别适合微光学、MEMS制造等先进技术,由于其出色的分辨率、高对比度、出色的蚀刻特性。它具有比其他光刻胶更好的性能,允许更高的分辨率图像和更宽的工艺窗口。该工具提供了三维结构,可以高精度地创建小至10-20 nm的特征。它具有非常薄的抗蚀性轮廓厚度,可以精确控制,从而可以更好地控制轮廓形状和性能。它还具有较高的对比度,因为它对UV光的灵敏度较高,这对于创建逼真的特征非常有用。USI UH 110设计紧凑,提供集成的组件包,可提高整体性能并降低成本。此外,该资产是高度可定制的,允许为客户的特定应用程序轻松集成到现有光刻系统中。该模型还具有很高的纵横比公差,允许更好的对齐特征和改进的光刻性能。此外,它具有很高的抗蚀刻能力,并且由于其较厚的轮廓而没有带状或不均匀的图桉。它对普通的光敏溶剂也有极好的抗性。总体而言,ULTRON SYSTEMS INC UH 110是一种高性能的光刻设备,为光刻应用(如微光和MEMS制造)提供卓越的性能。由于其出色的分辨率、高对比度和出色的蚀刻特性,它是一系列光刻工艺的理想系统。它还具有高度可定制和用户友好的特点,能够为客户的独特需求提供最佳性能。
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