二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 114-8 #293671773 待售

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 114-8是为大体积微电子器件制造而设计的高性能光刻设备。光刻胶系统由一个坚固可靠的化学分配单元组成，用于将光刻胶精确地分配和扩散到基材上。将气刀和旋转涂料与分配机集成在一起，以确保光刻胶在基板上的涂层均匀。该工具通过其先进的控制界面提供高精度的分配和涂层过程控制，从而可以对资产进行精确的编程和操作。化学分配模型由强大的电动机和坚固的运动阶段组成，能够快速准确地将光刻胶分配到基板上。其设计具有高流量的高流量处理和改进的循环时间。配电设备与气刀模块集成，在基板表面提供均匀分布的光刻胶和自动旋转涂层，确保光刻胶均匀分布在基板上。USI UH 114-8还具有多级自动旋转涂层，实现了系统的高精度控制。该自旋涂层具有专利技术，可提供高均匀性和均匀的颗粒层次感，具有较高的光阻厚度。该单元还设计了一个腔室吸尘器，以方便去除颗粒和挥发物的清洁基板表面。此外，配电工具还配备了先进的数字控制器，可以微调配电和涂层参数。这样可以改进过程管理,提高产量和产品质量。数字控制器还可以方便地设置和编程分配和涂层过程。总体而言，ULTRON SYSTEMS INC UH 114-8是一种为大体积微电子器件制造而设计的坚固可靠的光阻资产。它具有高流量化学分配模型、气刀和自动旋转涂层，以及先进的数字控制器，用于精确的过程控制和易于设置。该设备保证了光刻胶在基板上的准确、均匀的应用，提供了优越的产量和产品质量。