二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 114 #293657345 待售
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ID: 293657345
晶圆大小: 6"
Tape mounter, 6"
Vacuum-securing standard wafer stage: Up to 6" / 3"-6" multi-chuck
Spring-loaded roller assembly
Film tensioner
Uniform adhesion provides bubble-free lamination
Circular cutter (wheel-type) for cutting film on film frame
Adjustable cutting pressure for different film
Digital temperature controlled platen
Adjustable work stage height from top of unit
Operate with non-backed or backed film
Accommodates film/protective layer wound on the outside or inside
Adjustable alignment pin and vacuum cup
End cutter for film separation
Protective film take-up roller assembly for use with film with backing layer
Power supply: 115 VAC, 3 Amps, Single phase, 50/60 Hz.
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 114是一款高性能的光刻胶设备，旨在满足芯片制造商、光刻胶供应商和铸造厂的需求。该系统提供卓越的图像质量和均匀性，具有精确的曝光参数控制和抗蚀层厚度均匀性。它配备了先进的UV成像技术，搭配独特的三轴级进行精确的迭加对准。该单元设计用于实现超高分辨率光刻工艺,分辨率高达0.2 μ m。它利用顶级LED成像,提供卓越的线宽分辨率,并具有广泛的动态范围。机器使用Pre-BAW技术，与传统的二进制掩模对齐器系统相比，允许更快的曝光、更快的图像工件求解和更大的曝光场。该工具还能够支持不同晶圆尺寸的多个操作配方,从而实现优化图像质量和加快吞吐量的灵活性。其集成成像资产能够处理8"、12"、16"和18"晶圆。它专为大批量生产环境而设计，故障率非常低，对齐时间明显缩短。该模型为图像质量提供了全面的过程优化,具有自动边缘对齐、晶圆缝合和边对边均匀性。该设备还提供了方便地适应新的光刻胶配方和工艺配方要求的灵活性，从而能够支持不同的设备和技术。曝光系统在具有挑战性的IC模式方面取得了优异的效果,具有出色的对齐和迭加功能,并最大程度地减少了特征宽度误差。该单元的人体工程学设计使操作员能够方便地进入，并且易于调整晶片的位置和操作。USI UH 114专为最优质的工业应用而设计,是经济高效的产量改进和增值应用的理想选择。该机为移动和高端半导体IC器件、MEMS和光罩生产等应用提供了高度可靠的光刻性能。
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