二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 114 #9237154 待售

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 114是一种光刻设备，设计用于利用光源蚀刻和开发硅晶片以实现精确性能。利用先进的光成像技术，USI UH 114在直径达200 mm的晶片上实现了精确的曝光光刻胶图像图样，并涂上了高质量的抗蚀剂。光刻胶系统有一个全自动的轨道和对准单元和先进的自动喷雾工艺，在各种硅片精确的性能。ULTRON SYSTEMS INC UH114能够精确地控制均匀性、过程速度、直线对准和全局对准特性。它还能够确定最佳的处理参数,以获得最佳的抗拒轮廓性能。该机器采用高分辨率（HR）步进器，为用户提供高保真成像和精确的曝光控制。步进器提供了打印高清平版图像所需的过程重复性和准确性。UH114能够利用各种相片掩模类型,包括但不限于石英、石英铬（EtchMask）、玻璃和GaAs。该工具还支持高速晶圆运动，允许更高的收益率。UH 114可以根据客户喜好在两个、三个或四个曝光模式下运行。在两种曝光模式下，晶片同时暴露于两个光刻胶层中。在三种曝光模式下，在光致抗蚀剂层之间包括一个透明的薄膜层，以增加均匀性和减少交叉光晕。在四个曝光模式下，洪水曝光被用来将光抗蚀剂均匀地应用于整个晶片表面。ULTRON SYSTEMS INC UH 114还具有主动诊断功能,以确保在蚀刻分离和开发过程中完全满足每种光掩模模式。设有湿蚀刻检测站，可让使用者检测光掩模后蚀刻及开发，以确保高产。此外，资产还有一个集成验证站，用于检查晶圆表面是否有任何缺陷。ULTRON SYSTEMS INC/USI UH114集成了先进的技术,以提高运行性能和高精度的结果。安全的配置模型可确保精确的可重复过程和提高晶圆产量。它旨在在可靠的操作环境中为用户提供可靠的结果。