二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 114 #9292713 待售

ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 114
ID: 9292713
晶圆大小: 6"
Wafer mounter, 6"
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 114是一款功能齐全的光刻设备。其功能包括高级阵列功能、高吞吐量性能和过程控制精度。光刻胶系统还具有自动液体处理能力和集成的分析工具,以实现所需的分辨率和图样精度。光致抗蚀剂单元通过将设计布局的能量模式传递到基板表面来运行。然后,机器将基板暴露在高强度光束下,该光束被调制,从而在基板表面形成所需的图桉。光束由发光二极管(LED)阵列产生,该阵列连接到电子束源和控制工具。然后,光束被一种光学资产引导,它以这样的方式分散光束,然后将光束聚焦到基板表面上。光刻胶模型的设计允许微电子器件和电路的精确和可重复的模式。由于对光强度、时间和空间精度以及强度调制的精确控制,它还提供了非常高分辨率的成像能力。光致抗蚀剂设备具有多种阵列选项,包括多层工艺,可实现复杂设备的精确3 D阵列。此外,根据电路类型和布局的复杂性,该系统可用于各种光刻工艺。光刻装置还在吞吐量性能、边缘清晰度、迭加精度和图样保真度等方面具有较高的性能。它被设计为高度可靠,也与各种不同的基板兼容。总体而言,USI UH 114是一种高科技光刻机,提供先进的图样选择和精确的成像结果。其广泛的特点使其成为许多行业的理想选择,例如半导体行业,在这些行业中,高精度和高精度是最重要的。
还没有评论