二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130 #9096008 待售

ID: 9096008
晶圆大小: 2"-3"
Die Matrix Expander, 2"-3" Table-top 3" Stroke with speed control and adjustable ram height Digital temperature control 115 V, 3 A, 1 Ph, 50-60 Hz.
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130是一款最先进的光刻设备。该系统旨在为用户提供最高水平的光刻特性和超高分辨率成像。该单元的主要部件是Novelon-TM多层抗蚀剂和机器控制器,它允许精确调整曝光水平、分辨率和可重复性。这种光刻工具还具有高分辨率光学器件和成像资产。所使用的光学元件包括一个高NA光学柱与一个超高解析度的蒙版配对,具有1.2微米的像素间距和分辨率,比传统的光学光刻系统高。成像模型可以同时显示多个抗蚀层,允许用户以高精度创建金属、半导体或多层抗蚀层图样。成像设备还与计算机控制的机动平台集成在一起。该平台允许用户轻松放置、移动和旋转基板,在保持基板完整性的同时更容易获得所需的对齐方式。除了高分辨率光学和成像之外,USI UH 130还包括提供自动曝光和采样功能的高级软件程序,以及内置的预设曝光配方库。此程序可用于针对各种材料和工艺要求定制曝光序列。ULTRON SYSTEMS INC UH 130在半导体和印刷电路板行业有广泛的应用。该系统可用于创建图样,如通过插头、多层抵抗特性、高长宽比孔和高分辨率线宽。其用途广泛的成像单元允许低过度喷射,使其非常适合印刷电路板的生产。总之,UH 130是寻找顶级光刻特征和高分辨率成像的用户的理想选择。该机先进的机动化平台、高NA光学器件以及自动曝光和采样功能,使其成为可靠且高度精确的光阻工具。
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