二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130 #9123400 待售

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130是一种用于超小型集成电路光刻生产的高性能光刻设备。该系统由多个组成部分组成，包括：一个防腐剂应用和开发单元、一个成像单元、一个扫描仪单元、一台计算机控制机器和一个废物清除站。该工具旨在利用光波和紫外线辐射在硅或玻璃基板上制作图像。抗蚀剂的应用和开发单元具有一个将抗蚀剂以液体、蒸气或半固态形式保存的腔室。然后，该腔室允许将抗蚀剂涂层均匀地涂在基板上，并使用氮气喷出腔室除去任何多余的材料。成像单元使用两个光学立方体，一个4-plex和一个6-plex，将光波聚焦到基板上。这种曝光允许在光致抗蚀剂层中创建预定的曝光模式。扫描仪资产使用高速扫描仪头在成像单元周围移动基板。这款机型能够分辨出300纳米的特性，允许曝光速度高达每秒25厘米。计算机控制设备使系统能够精确运行,并具有用户友好的GUI,便于设置和调整曝光参数。最后，废物清除站清除了多余的抗蚀剂以及任何空气污染物，确保了设备的高度清洁。总体而言，USI UH 130光刻机是一种强大可靠的工具，用于生产超小型集成电路的光刻。此工具能够以较高的精度和准确性执行操作,同时还可以通过其简单的GUI轻松进行设置和操作。对于那些希望生产超小型集成电路的人来说，这一资产是一个理想的选择。