二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130 #9171536 待售

ID: 9171536
晶圆大小: 8"
Die matrix expander, 8" Currently installed.
ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130光抗蚀剂设备是一种可靠且用途广泛的仪器,旨在满足工业实验室环境的具体需求。该系统利用先进的光学和化学工艺提供了一个优越的图像传输到广泛的基材。USI UH 130光阻装置结合了遮罩与基板的直接接触曝光和投影曝光等曝光方法,提供了灵活性和安全性以及卓越的性能。ULTRON SYSTEMS INC UH 130光刻机具有两个主要的曝光元件:一个宽广的紫外线光源和一个包含曝光可编程电阻的光刻盒。这些组分结合工作,在聚酰亚胺和PVC等不同底物的表面上生成一层光致抗蚀剂薄膜。利用直接接触的曝光技术,光致抗蚀剂可以粘附在样品上,提供对环境的保护,并在图像和基板之间提供一个功能上的联系。UH 130 Photoresist Tool中的光学元件可实现广泛的曝光范围,其功率取决于基板类型和所需的特征尺寸。该资产可提供高达1.7mW/cm2的激光强度和0.1mm至20mm的工作距离。可调节的口罩支架还允许口罩尺寸范围为20毫米至160毫米。ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130光刻胶模型的化学转移技术消除了回填的需要,进一步简化了曝光过程。光致抗蚀剂可以冲洗出盒式磁带,允许在图像和基板的两个表面之间进行化学转移,不需要额外的化学粘附。除了化学转移过程外,USI UH 130光刻设备还提供了额外的诊断功能,使故障排除更加容易。这些功能包括用户友好的图形界面和提供详细反馈的远程控制选项。其直观的真空系统控制压力水平,确保准确和可重复的结果的最高水平的特征均匀性。此外,ULTRON SYSTEMS INC UH 130光阻装置可以在广泛的环境中运行。经认证可在A、B或C类洁净室环境中使用,也可在-20°C至+50°C的温度下运行。最终,UH 130光刻机提供了卓越的光学、化学和环境管理过程,以帮助简化光刻应用过程。其广泛的功能,结合诊断反馈和直观的用户界面,使ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130光刻工具成为任何工业实验室设置的绝佳选择。
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