二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130 #9182148 待售

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130是一种由光掩模、投影光学器件和微型批处理环境组成的光阻设备。该系统用于在硅片、玻璃滑梯等基板上应用微图样。该单元的投影光学器件能够提供大视野和高分辨率，从而产生非常复杂的特征。机器的光掩模能够容纳各种大小和形状的图桉，由一块4 "X 6"石英板组成。石英板是将紫外线（UV）光传递到基材的车辆。紫外线在感光材料中引起化学反应，使其变硬或溶解。该工具的投影光学器件设计为提供一个清晰的投影视场，其大小足以一次容纳几个基板。光学器件由透镜、真空外壳、四向偏振分束器立方体和可调光圈组成。这种安排允许图样精确投射到基板上而不会失真。USI UH 130的处理环境是为小批量处理而设计的。这意味着一次只能处理少量基板，每批只需几秒钟即可完成。过程完成后,可以手动筛选基板以识别任何可能的缺陷。ULTRON SYSTEMS INC UH 130资产的关键特性使其成为芯片制造商和其他需要生产小型复杂模式的组织的理想解决方桉。模型操作快速准确，环境可以容纳小批量基板。此外,可以快速识别筛选过程中发现的任何缺陷,从而快速解决问题。最终，设备的能力使各组织有能力生产高质量的微电子元件。