二手 ULTRON SYSTEMS INC / USI UH 130 #9398881 待售

ULTRON SYSTEMS INC/USI UH 130是一款为先进生产线应用而设计的光刻设备。该系统旨在加速生产，提高精度和效率，降低成本。用于微电子工业、IC制造和研发应用。该装置利用涂覆在基板上的先进光刻胶层。当用紫外线光源照射时，光刻胶材料会关闭，露出与基板图桉相对应的透明图桉。这种透明图桉可用于精确蚀刻、干燥或加热基板。USI UH 130机的先进特性包括其对曝光时间的自动控制、UV光源强度、基板与光源的距离等参数。它提供了比手动曝光方法更好的可重复性和准确性。此外,该工具还包括高级安全功能。它具有防止暴露于紫外线的保护罩、防止意外暴露的安全互锁资产以及在检测到任何异常操作时会关闭电源的安全互锁模型。ULTRON SYSTEMS INC UH 130设备设计用于大批量生产环境。可用于短跑和5000件以上的长跑。它与各种尺寸的基材兼容，能够处理面积达5200 cm2的12英寸晶圆。总体而言，UH 130光刻胶系统是为先进的生产线应用而设计的。它是一个自动化的单元，为蚀刻、干燥或加热带有光致抗蚀剂层的基板提供了改进的重复性、准确性和可变性。它还具有保护操作员免受紫外线和危险条件影响的安全特性。