二手 ULTRON UH 101 #142775 待售

ULTRON UH 101是一种光阻设备，用于制造集成电路和先进的微型设备。光致抗蚀剂是在暴露于光下时改变其化学或物理性质的材料，可用于将图样转移到基板上。传统的光致抗蚀剂配制有一个碱基层，通常是一种感光聚合物，以及一种表层涂层，它通常含有一种化合物，不溶于蚀刻过程中使用的显影剂。UH 101系统是集成电路生产的用户友好且经济高效的解决方桉。该单元由4层抗蚀剂和层间抗蚀剂组成。4层抗蚀剂结合了感光聚合物和表层涂层，并配有单层光致抗蚀剂材料。这减少了过程的数量，降低了光刻的复杂性。层间抗蚀剂提供了额外的保护层，具有增强的粘附性能和改进的屏障性能，防止了蚀刻过程中层间的解偶联。ULTRON UH 101机器还具有内置的激活和蚀刻工艺，其设计目的是通过允许均匀的蚀刻速率来减少图桉化层中的缺陷。此外，UH 101工具可以与各种光掩模配合使用，这种光掩模可以创建比使用其他光刻胶系统更精细的复杂图样。这种灵活性使ULTRON UH 101资产成为微加工和其他需要高分辨率阵列的应用的绝佳选择。综上所述，UH 101是为集成电路生产而设计的光刻胶模型。该设备提供了一种经济、用户友好的解决方桉,具有4层抗蚀剂和层间抗蚀剂,以及内置的激活和蚀刻工艺,可减少缺陷。ULTRON UH 101系统可搭配多种光掩码使用，是高分辨率微机械加工的理想选择。