二手 Unknown BPE-2000W #9282437 待售

SteamUnknown Unknown BPE-2000W是为微电子和半导体工业应用而设计的光刻设备。这种高度通用的系统可用于各种基板上的光刻结构的蚀刻、图桉、修饰和修复。该装置采用了一种新的电化学工艺，称为Property-Aid，利用位于不同电位的两层光刻膜产生的高压差速器，促进蚀刻过程中的选择性。这样就可以在不需要蒙版的情况下蚀刻封闭的几何形状,同时创建统一的结构并保持基板的完整性。该过程开始于在所需的基板上对光刻胶薄膜进行自旋涂层。BPE-2000W台机器利用蓝光照射和激活光刻胶,以实现选择性蚀刻、最小桥接、更高的退火温度和改进的边缘变化控制。在辐照过程中，采用光学密度计来保证曝光层的均匀性，开发的配方根据底物组成、蚀刻深度和假定的光敏膜粘附度选择最佳辐照参数。一旦照射完成，两层光敏膜连接到两个电极上，下一层连接到地面，上一层连接到高压。Property-Aid过程使用未知BPE-2000W工具提供的受控电流启动,以将图样蚀刻到光敏胶片中。性能辅助工艺还可以补偿蚀刻周期中基板温度的升高。一旦图样被蚀刻，后处理阶段可以由各种过程组成，包括切丁、翻转切屑、反向蚀刻以及通过形成，这取决于应用程序。BPE-2000W资产具有内置的防尘功能，可防止颗粒在后处理阶段进入光刻膜。未知的BPE-2000W模型还可以提供最佳蚀刻步骤,最大限度地减少手动调整的需要,并增强微加工过程中的均匀性和吞吐量。总之，BPE-2000W设备是一种适用于微电子和半导体工业的多用途、可靠的光阻系统，旨在蚀刻闭合几何形状，保持基板完整性，改善边缘变化控制。通过使用Property-Aid工艺，可以在不需要掩模的情况下蚀刻光敏结构，后处理可以由多种工艺组成，以获得最佳效果。这种可靠的设备旨在最大限度地提高均匀性和吞吐量,同时确保防尘和易于手动调整。