二手 USHIO UXM-2400P #9142455 待售

USHIO UXM-2400P是一种光阻设备，设计用于生产用于各种医疗和工程应用的高分辨率微结构。该系统融合了宽色散脉冲激光器、高对比度和高分辨率反射镜、双轴数字伺服模式发生器等先进功能。该装置能够产生小至100 nm的特征，并具有适合于许多微加工过程的均匀光分布。UXM-2400P使用的激光是UV频率加倍的Nd： YAG，频率为393nm，脉冲长度为100 ns。Nd： YAG激光器提供了一种高容量的紫外线辐射源，这是烧蚀光致抗蚀剂层所必需的。USHIO UXM-2400P还配备了先进的控制机器,用户可以精确调整诸如功率、脉冲持续时间和脉冲速率等参数,以获得所需的结果。该工具可以在两种模式下操作：曝光模式和模式模式。在曝光模式下，光致抗蚀剂在短时间内暴露于激光脉冲，然后被移除。模式模式允许最多增加30秒的曝光时间,从而可以创建更复杂的形状。UXM-2400P具有集成成像资产,用户可以实时查看过程。该模型由远心光学成对和高分辨率摄像机组成，用户可以在曝光时观察光刻层。这可帮助用户识别过程中可能出现的任何问题。然后利用曝光后烘烤和湿加工功能完成光刻工艺。曝光后烘烤允许用户在烤箱中干燥光刻胶层，而湿加工则在蚀刻室或喷雾提取设备中进行。综上所述，USHIO UXM-2400P是一种设计用于生产高分辨率微结构的光刻胶系统。它融合了宽色散脉冲激光器、高对比度和高分辨率反射镜，以及双轴数字伺服模式发生器。该装置有一个成像机实时观察过程，以及曝光后烘烤和湿法加工的特点。这些特性使微结构在各种医学和工程应用中的精确制造成为可能。