二手 VERTEQ 1600-2 #9169238 待售

VERTEQ 1600-2设备是一种先进的光刻胶生产系统，旨在创造低至0.2 µm的特徵尺寸，同时保持高精度和重复性。这个单元由一台送货机、一个控制器以及一个光刻涂层和曝光过程模块组成。送货工具包括一个微型定位机器人，用于精确移动安装在主轴上的基板。模具功能允许各种基板和尺寸。这提供了高精度和低延迟,负载和卸载时间为3秒。主轴使用标准螺距来容纳各种各样的基板和基板尺寸,以便于使用。板载控制器具有可编程逻辑控制器（PLC），它与光学资产接口集成，用于自动提取、交付和定位。使用此界面,独一无二的通用设计允许从各种基板类型中获取和记录测量结果,并将特征和数据存储在连续的数据跟踪中。PLC用单独的编程库进行编程，以控制机器人的运动、主轴的加速和减速等因素。最后，尖端光致抗蚀剂工艺模块在有源区域提供了一个非常好的均匀性，用一个特殊的算法来精确匹配基板尺寸和形状轮廓。此模块提供了对抗蚀剂厚度的出色控制,可在各种涂层厚度上精确控制抗蚀剂厚度。通过使用模块的专用光学器件和光掩码,可以实现高精度、高再现能力。总体而言，1600-2型光刻胶是为真空沉积而设计的，可抵抗0.2 µm的尺寸。可编程PLC和智能交付设备可确保高精度和重复性。特殊的光学器件可以精确控制抗蚀剂的厚度和在活动区域上的出色均匀性。VERTEQ 1600-2是光抗蚀剂在半导体、微电子和生物技术行业应用的绝佳选择。