二手 VERTEQ 1600-3 #293758511 待售

VERTEQ 1600-3是一系列专为满足半导体工业需求而设计的光阻系统。它是一种全自动设备，设计用于提供快速、精确的光敏涂层工艺，可与各种光敏涂层和基板一起使用。它使用专门的系统来精确控制光敏涂层的辐照，并且可以处理包括200和300毫米晶圆在内的各种基材尺寸。1600-3使用具有集成晶圆喷涂单元的模块化分配单元涂抹厚度均匀的涂层。这样可以在整个基板上均匀涂层，即使在复杂的图样区域也有均匀的斑点。该机配备独特的反射率测量工具，利用激光二极管精确测量基板和光敏涂层的反射率。这确保了在所有类型的基板上，包括金属基板上都能达到均匀的涂层厚度。VERTEQ 1600-3还装有一个集成的晶圆比例分配室，通过针头确保精确的涂层沉积，采用定制的喷嘴技术。这使用户能够在不牺牲控制或精度的情况下，在大面积上精确地沉积光敏涂层。该资产还具有温度控制的干燥烤箱，进一步确保了均匀的涂层厚度。1600-3还具有反射晶片级,在涂层过程中可以旋转。这允许均匀的喷雾覆盖，即使是在具有复杂图样的基板上。该型号还配备了可选的自动晶片跟踪设备，进一步增加了涂层工艺的精确度。光刻胶系统还包括几个安全特性。该装置包括一个安全柜子，里面装有涂层过程中产生的气态和颗粒状污染物的痕迹，以及一个有助于确保清洁工作环境的HEPA过滤器。机器还包括一个紧急电源切断和一个带有警报的监视器，可以在工具处于不安全状态时向用户发出警报。总体而言，VERTEQ 1600-3是一种高度先进的光刻胶资产，提供精确的光刻胶涂层工艺。它配备了晶片比例分配室、温控干燥炉、集成晶片跟踪模型、反射率测量设备、安全柜等多种特性。这些特性使其成为一种用途广泛、可靠且安全的光致抗蚀剂系统，可用于半导体工业。