二手 VERTEQ 1600-3 #9196056 待售

VERTEQ 1600-3是一种最先进的三束光刻设备，用于成像各种抗蚀剂。它具有先进的激光源、光学系统和灵敏的光学探测器，以确保精确的结果。当成像变量抵抗大基板上的厚度时,该单元可提供高吞吐量、高分辨率和高吞吐量精度。1600-3利用三个截然不同的激光束进行大面积扫描，并配有近场光学探测器，以确保在广泛的抵抗厚度范围内获得准确的结果。激光源由强大的控制软件驱动，能够提供高吞吐量的性能。光学系统采用专利NanoFeedback™技术，主动监控成像条件，以优化精度和吞吐量。内置配方管理机器允许快速配方编辑和校准过程参数。该工具也是高度模块化的，可以配置用于生产光刻应用。各种基板管理选项可用于基板处理、基板座椅和基板间距控制。除了成像之外，VERTEQ 1600-3资产能够以高达每小时25个晶圆的三维映射和成像吞吐量。该模型独特的设计还允许高精度真空设备自动化，从而在成像过程中产生更好的附着力和性能。此外,该系统还具有自动成像配方库,便于检索和编辑现有配方。总体而言，1600-3光敏装置为不同厚度的抗蚀剂提供可靠和准确的成像。该机器强大的设计、通用的激光源和灵敏的探测器使其成为从多路复用到掩蔽和成像等一系列光刻应用的理想选择。