二手 VERTEQ 1600-3 #9209716 待售

製造商
VERTEQ
模型
1600-3
ID: 9209716
Spin Rinse Dryer (SRD).
VERTEQ 1600-3是专为精密晶圆处理而设计的光阻设备。这一经验证的系统在半导体工业中得到广泛应用,用于在光刻涂层、曝光和光电结构开发等关键工艺上取得高质量、可重复的结果。1600-3具有紧凑的铸铝框架,可轻巧耐用,适用于移动和工业应用。它具有一个全轮廓、z轴高度调整单元,用于晶片板的最佳垂直位置。它还配备了旋转晶片夹,以确保均匀的曝光均匀性。这台机器包括一个全光谱,氙基图像投影机,具有自动对焦的卓越的光学性能。它得到各种软件模块的支持,这些模块需要产生各种摄影分辨率,并能够准确控制曝光能量的流动。它还具有一个全面的索引工具,可以精确定位和扫描晶片板VERTEQ 1600-3有两个预先安装的用于涂层、曝光和开发过程的工艺室。它配有用于均匀分布涂层材料的不锈钢压板和用于去除任何残留光刻材料的反面压板。所有功能通过封闭的触摸屏用户界面控制,该界面具有清晰、全彩色的图形和简单的用户友好菜单,便于操作。1600-3提供了一套综合性的光敏化学套件,外加全方位的配件,包括晶片编子、载体和搅拌器。该资产经过预先验证,能够用于加工直径不超过13英寸的基材。VERTEQ 1600-3是一个专业的、高质量的p耐热剂模型,为一系列临界光敏剂工艺提供了优异的效果和易用性。它体积小,可以在各种不同的环境中使用,对于那些寻求具有卓越性能特性的可靠、可重复的解决方桉的人来说,它是完美的解决方桉。
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