二手 VERTEQ 1600-34 #187764 待售
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ID: 187764
晶圆大小: 4"
优质的: 1996
Spin rinse dryer (SRD), 4"
Dual stack
(4) VERTEQ rotors, p/n 1081199-1 a72-39m-06-0215 rev-c h-bar-in
(1) VERTEQ rotor, p/n 1075433-1 a72-20m-0215 h-bar-out rev-n/c
1996 Vintage.
VERTEQ 1600-34光刻胶设备是一种领先的成像系统,其开发目的是在光刻胶应用领域经济高效地实现极高水平的细节、质量保证和成本管理。它提供高质量的图像,具有无与伦比的线条定义和特征大小,分辨率高达30 um。1600-34单元采用了专有的超高分辨率口罩、独特的小型镜像光学机器和先进的计算机控制工具,可实现高度可靠、可重复和准确的图像。资产还包括一个全自动模型,其中包括一个先进的视觉设备,可以提供尽可能高的分辨率和图像对比度。该系统的图像捕获使用低能光源,非常适合用于精确抵抗处理。该单元还提供了广泛的可调参数,允许控制图像分辨率、线条定义、特征大小和边缘敏锐度。除了灵活的成像能力外,VERTEQ 1600-34机器还具有先进的光刻技术,包括先进的材料处理、加工、干燥和固化操作。该工具的设计是为了提供绝对最小的光敏飞溅,确保在处理过程中尽可能高的精度。该资产还提供了各种各样的检查和计量工具,从而能够进一步保证光刻胶层的特征准确性和质量。自动化检查模块、3维(3-D)成像、波形分析和光学计量都是1600-34模型的组成部分,为用户提供了对光敏设备的最大控制。VERTEQ 1600-34光刻胶系统是光刻胶应用的高效可靠的解决方桉,能够实现高精度和一致性,同时保持成本效益。其视觉单元、物料处理、自动化操作,使操作一致性和质量保证得到提高,成为各行业光敏应用的理想选择。
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