二手 VERTEQ 1600-34 #293590150 待售

製造商
VERTEQ
模型
1600-34
ID: 293590150
Spin Rinse Dryer (SRD).
VERTEQ 1600-34光抗蚀剂设备是一种高精度的涂层和成像系统,旨在协助生产电子工业的晶圆级集成电路。此单元提供光刻性能,具有一致的图像质量和均匀性,以及从头到尾快速准确的涂层和成像。该机设有具有精确运动平台的真空涂层室、高性能光学元件和自动化过程控制。1600-34工具具有300-600mm的占地面积,专为精确、可重复的涂层和成像结果而设计。真空涂层室由两片穿孔的不锈钢壁组成,其结构具有精确的公差和温度控制,以确保环境均匀,最大限度地减少热漂移。一组顶部、底部和侧面网格进一步确保沿着面板的整个长度精确沉积。涂层室有一个精确的运动平台,可实现多功能操作,如基板对准和放置,而无需额外的装卸。资产中的高级光学组件旨在最大限度地提高光效,并确保整个图像的清晰、均匀的分辨率。光学级配备了精密的抗反射或真空涂层、紫外线和紫外线可见光源,以及用于精确位置测量的干涉仪。为了提供自动化的过程控制,VERTEQ 1600-34 Photoresist Model具有内置的PLC控制器,具有可编程级别的过程控制,允许客户根据产品的特定要求定制其过程。客户还可以自定义可编程逻辑控制器以设置层厚度、均匀性和其他参数,以获得最佳的工艺性能。该设备还具有用户友好、直观的图形用户界面,便于访问、控制和管理光刻过程。此外,该系统还设计了最大的安全性和效率。它包括一个集成的压力管理单元和一个紧急停止功能,以确保操作员的安全,而内置的通风机防止空气中的污染。对于需要精确、可重复涂层和成像功能的公司来说,1600-34光刻工具是一个理想的选择。该资产提供卓越的性能和流程,可根据每个客户的特定应用程序进行更改。
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