二手 VERTEQ 1600-44 #5954 待售

VERTEQ 1600-44是为集成电路的开发制造和其他先进应用要求而设计的先进光阻设备。它是制造工具的军械库中的一种先进武器，因为它在晶圆基板上创建和处理光致抗蚀剂层时提供了高水平的细粒度控制。1600-44是一个完全自动化的系统,能够在厚度从0.1微米（微米）到250微米的基板上创建高质量的光刻胶层。该单元由一台特殊的光刻胶分配器机、预处理和曝光系统以及自旋涂层组件组成。该工具允许快速、高效的晶圆处理和处理过程。预处理设备用特殊的表面活性剂/清洁溶液制备晶片基板，然后使用涂覆晶片基板和光致抗蚀剂溶液的自旋涂层组件。对光刻层采用多种曝光技术，如干涉测量、步进对准和激光光刻。VERTEQ 1600-44的曝光模型能够高精度地控制光强度和干涉测量。1600-44的曝光后设备允许光刻胶的快速发展。涂覆在晶片基板上的光刻胶经过化学处理，并通过各种独特的曝光后工艺，包括曝光和干蚀刻工艺来开发。这有助于在晶圆基板上创建复杂的图样和设计元素。VERTEQ 1600-44还包括一系列的过程控制系统选项，允许在光刻胶过程的每个步骤进行精确的监测和分析。可以监测和调整光学、环境和动力学参数，以优化设备的性能。先进的自动化、精确的监控分析、高质量的光刻胶层相结合，使1600-44机器成为集成电路生产等光刻应用的强大资产。