二手 VERTEQ 1600-55A #293655504 待售

VERTEQ 1600-55A
製造商
VERTEQ
模型
1600-55A
ID: 293655504
Spin Rinse Dryer (SRD).
VERTEQ 1600-55A是一种高精度曝光设备,为各种微电子应用开发光敏材料提供了可靠、准确、一致的方式。该系统具有高分辨率和强大的成像能力,非常适合在硅晶片等光刻材料以及用于MEMS和微电子的光刻材料上进行复杂的设计。1600-55A包含一个功能强大的两级成像单元,具有超精确的4x5"分辨率,可让光刻机上的图像清晰清晰。该机在可调紫外线强度为50mW/cm2至370mW/cm2的情况下工作,光浓度范围为1.2-2.2。此外,该工具旨在最大限度地减少能耗,并在暴露过程中有效利用可用能量。此外,该资产还设有一个电子喷墨装置和一个自动晶片级,用于精确和统一的登记和移动控制。VERTEQ 1600-55A还提供了一个全面的软件套件,以便于成像过程的操作。软件允许用户用指尖定义曝光时间、紫外线强度、晶圆级运动等过程参数。再者,软件可用于预先设定用户经常使用的各种配方,并用于访问实时进程状态,用于监控和调试目的。此外,该模型还配备了直观的用户界面,便于访问和控制成像参数。1600-55A为光致抗蚀剂应用提供了高精度和可靠的成像解决方桉。其先进的成像设备具有高分辨率和强大的成像能力,为开发清晰清晰的光刻胶图像提供了绝佳的途径。此外,凭借其综合控制软件,VERTEQ 1600-55A确保了在光刻材料上生产微电子设计的可靠和统一的成像过程。
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