二手 VERTEQ 1600-55A #293711667 待售

VERTEQ 1600-55A
製造商
VERTEQ
模型
1600-55A
ID: 293711667
Spin Rinse Dryer (SRD).
VERTEQ 1600-55A是一种先进的自动化光刻胶处理设备,设计用于光刻胶的半自动开发、剥离和涂层。它具有强大的激光器,能够在晶片基板上精确、精确地制图光刻胶。将光刻胶从墨盒中分配出来,以便进行最佳处理。此外,1600-55A还配备了一个电动机,使光刻胶的基层能够在阵列化之前应用。VERTEQ 1600-55A具有高分辨率光学成像系统,可准确定位光刻胶图样。该单元的工作原理是进行边缘检测测量,允许将定位直接放置在现有的感光特征上。此功能消除了光刻图样制作过程中的步骤,从而确保了更快的周期时间。1600-55A还设有一个独立的加热模块,以方便温度和/或溶剂溷合。该模块最多可容纳10种标准实验室尺寸的溶剂,并且能够储存多达16种不同的溷合配方。该模块可与外部热结合使用,用于光刻胶的快速处理。此外,VERTEQ 1600-55A采用动态流动单元在不同的压力下精确地应用光致抗蚀剂。这通过控制流体流速和减少阻抗污染来确保晶片上均匀的阻抗厚度。1600-55A上的激光配置可以通过选择不同的激光波长、脉冲模式和曝光时间来定制用户所需的规格。在安全方面,VERTEQ 1600-55A设计了一个防火组件,可以在紧急情况下自动关闭机器。为进一步防止意外发生,该工具设计有安全屏蔽,以保护操作员的眼睛和皮肤免受激光辐射。此外,内置冷却资产有助于防止模型过热。总体而言,1600-55A是一种先进的自动化光刻胶处理设备,可提供高效、精确的抗蚀剂阵列。它的特点使得它非常适合广泛的应用,从工业到研发。
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