二手 VERTEQ 1600-55A #9124029 待售

VERTEQ 1600-55A是设计用于半导体制造应用的光阻设备。它是一种精密的台式机器，用于制造用于光刻工艺的半导体晶片抗蚀剂薄膜。该系统配有精密光学对准单元，可用于高精度、重复性的光刻胶应用。1600-55A包括一个55A晶片装载机,可容纳200毫米、150毫米或100毫米晶片,厚度可达800 µm。它具有快速的循环时间，每秒可进行四次晶圆停止，从而实现高通量生产。该机还具有由步进电机/驱动和外部气缸驱动的外部气缸，用于晶圆加载、驱动和定位。光刻胶分配工具包括三个泵（两个用于负数位数，一个用于正分配）以及一个压力调节器和溷合阀。它有一个选择的可编程涂层/掩蔽功能，如步骤扩展和角落掩蔽与快速变化的可编程功能。该资产具有高精度、可重复、均匀的抗蚀剂在晶片上的应用能力。光刻胶模型有一个1024点线性编码器和一个直接数字控制设备，在整个光掩模转换过程中保持准确性和可重复性。它还配备了用于去除静电荷的防静电装置，以防止涂层膜和晶片受到任何损坏。该机器的设计和制造符合标准的洁净室要求。它也是由不锈钢和环氧树脂涂层组合而成，以保证对酸和碱性化学物质的长期耐药性。综上所述，VERTEQ 1600-55A光刻胶系统是一种精密、台式安装的机器，用于将光刻胶薄膜以高精度、重复性和均匀性应用于半导体晶片。它设计用于半导体制造，包括一些可编程涂层/掩蔽特性。它也符合标准的洁净室要求，由耐用材料制成。