二手 VERTEQ 1600-55A #9219682 待售

製造商
VERTEQ
模型
1600-55A
ID: 9219682
晶圆大小: 4"
优质的: 1997
Spin rinse dryer (SRD), 4" 1997 vintage.
VERTEQ 1600-55A是用于生产高精度集成电路的最先进的光刻设备。它能够产生错综复杂的通气孔和接触孔,并提供动态和统一的模式,一致的结果。该系统非常适合批量生产需要可靠、一致和精确模式的集成电路组件。该单元由三轴抗涂层级、用于快速基板与基板交换的自动旋转台和五轴激光曝光机组成。它利用激光扫描和投影功能相结合,提供多光束和单光束曝光。多光束激光照射通过聚焦多个激光束并将其投射到目标上,允许微观模式。单束激光曝光只将一束聚焦的激光束投射到目标上,造成更大、更多的覆盖模式。该刀具设计有四个过程控制参数。参数为光束宽度、光束高度、光束强度和时间。梁宽度定义阵列的宽度,而梁高度则决定阵列的高度。光束强度和时间设置,可以调整以产生不同的阵列模式.这种灵活性允许更好的结果和更高的精度设计。1600-55A还提供了一种自动调节功能,使激光器能够调整到不同的基板,从而确保一致的涂层精度。此外,它还具有自动交换基板的功能,能够快速交换基板,节省时间和劳力。总之,VERTEQ 1600-55A光刻资产是大规模生产具有复杂特征和复杂模式的集成电路的理想工具。通过其尖端的激光扫描和投影技术,该模型能够产生可靠、一致和精确的结果。通过结合工艺控制参数和自动调整功能,设备为用户提供了定制设计的灵活性以及快速交换基板以实现快速生产的能力。
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