二手 VERTEQ 1600-55M #9123196 待售

VERTEQ 1600-55M是一种高精度的光阻处理设备，生产速率高达55晶圆每小时启动。它设计用于两个独立机柜中的曝光后烘烤（PEB）和编程热过程。该系统由两个可以同时使用的加热机柜组成，允许提高晶圆吞吐量和均匀的工艺温度。它能够加工多种底物和材料，如硅、多晶硅、磷化铵、砷化​​，以及其他III-V化合物。该设备具有多种选择,可实现快速、精确的差分泵浦曝光。这包括用于精确零件对齐的X-Y运动机器、自动可编程晶片加载器以及用于一阶像差和突出显示缝合的内部扫描仪工具。还包括一个手动装载载体，以实现逐个样本的配方控制。该资产由直观的图形用户界面（GUI）支持,以确保流程的准确性和可重复性。这包括参数调整和配方优化工具。它可以很容易地与其他系统（如FOUP stocker）集成，用于自动装卸。1600-55M还提供了具有集成过程可追踪性的高级过程诊断功能,包括二阶像差分析。这对于维护过程质量控制非常有用。该模型包括一个远程支持包,其中包含用于改进客户服务的电子邮件诊断消息。它还设计用于与大多数清洁室兼容,因此非常适合各种应用程序。VERTEQ 1600-55M是一种可靠的光阻处理设备,可在多种基材和材料上提供更高的晶圆吞吐量、准确性和可重复性。其直观的GUI和先进的诊断能力使其成为精密行业生产应用的合适选择。