二手 VERTEQ 1600-55M #9253113 待售
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VERTEQ 1600-55M光刻胶设备是一个模块化平台,旨在为光刻胶应用提供优化的成像解决方桉。该系统满足各种光刻技术的高精度成像需求。它被配置为利用范围广泛的光刻胶，具有单或双传输，使基板的处理能够达到200毫米大小。该设备具有较高的吞吐量能力、卓越的图像质量,并且可以轻松集成到各种流程中。1600-55M可配置光学、反射和透明成像组件。光学成像是通过三个扫描光电子系统完成的。顶光电是单束扫描仪，而两侧光电是多束扫描仪。扫描光电利用高功率光学器件，产生高分辨率的成像能力，具有低线路扩展功能。一台高分辨率的光学图像放大机也集成到了小面积特征的工具中。反射成像子系统由激光干涉放大光学组成，能够对平面和非平面进行成像。侧面光电器件与LIM光学器件一起，提供高精度、高通量的阶梯式结构成像。同时，透明成像子系统能够接触X射线光学成像，即使是3D结构也能提供出色的成像效果。此外，VERTEQ 1600-55M配备了广泛的成像参数，为各种光阻应用提供了最佳成像。这些参数包括高精度对准、曝光时间优化、剂量计算和光学补偿。直观的用户界面简化了资产的设置和参数的选择,从而确保了高效且最佳的成像过程。此外，该模型能够处理多个过程的多种光刻胶类型，使其成为各种光刻胶应用的理想解决方桉。总体而言,1600-55M光刻设备提供卓越的成像能力和高通量能力。该系统具有出色的图像质量、高度可配置的成像参数以及与各种工艺流程的灵活集成,是各种光刻技术的理想成像解决方桉。
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