二手 VERTEQ 1600-M #9123187 待售

VERTEQ 1600-M是为基板的精确、高分辨率图样设计的数字光刻设备。该系统利用光学成像和激光图样在半导体材料和其他基板的表面上创建高度精确和均匀的图样特征。光致抗蚀剂单元配备了高品质的扫描仪、激光制图引擎，以及为用户提供基板制图终极控制的先进软件包。1600-M设计方便用户且易于操作。凭借其先进的软件，用户可以快速修改特征，修改分辨率，并调整其他参数，以达到最佳模式化结果。该机还配备了0.5-40微米的扫描仪，允许不同的基板和激光分辨率。此外,还提供像差校正,这有助于整个基板的特征清晰度。通过变速扫描,该工具能够获得较高的吞吐量速率。VERTEQ 1600-M利用双梁资产进行高精度基板图样绘制。该模型由1.06 μ m的激光束组成，与波长可调节至355 nm的UV激光器配对。双梁机构优化了最佳特征放置和对比度的写入能力。当激光器被激活时，激光器在基板表面精确均匀地脉冲，精确度和高分辨率图样。1600-M还具有若干安全功能,包括紧急激光切断、危险防护以及防止一致性和谐波。它的水冷却设备为激光器和基板提供额外的冷却，允许精确的基板图桉，同时保护系统免受过热。VERTEQ 1600-M是一种先进的光阻单元，为半导体材料的图案化提供了最高的分辨率。凭借其用户友好的软件和易于使用的硬件，用户可以快速在其基板上创建高度精确和统一的模式。其强大的激光机器具有多种安全特性，能够实现高吞吐率，同时提供可实现的最高分辨率。