二手 VERTEQ 1600-NSC #9366559 待售

VERTEQ 1600-NSC是下一代光阻设备，用于在半导体和其他集成电路器件中创建高精度特征。该系统是一个功能齐全的平台，包括高精度的掩模对准器、曝光源和化学加工设备。因此,它提供了多种功能的组合,以提高生产能力、可靠性和节省成本。1600-NSC具有精确的5轴掩模对准器,能够以0.3微米的精度运行,以确保高精度的对准和控制,从而转换为高产零件。该装置还使用高频灯曝光源，可提供快速、可靠的曝光晶圆速度。一种先进的光刻胶选择允许用户选择具有所需的光学特性的抗蚀剂，从而实现高对比度的特性。VERTEQ 1600-NSC内的化学加工机能够以安全有效的方式去除光致抗蚀剂，并保存各种用于去除的化学品，如干蚀刻剂、水基溶液和惰性气体。此外,该工具支持多层工艺技术,如深层沟槽蚀刻或通过填充,并提供有效的晶圆冷却,以减少光刻、抛光和蚀刻过程中的热应力。1600-NSC非常适合半导体器件等精密制造。所有资产组件的组合有助于确保高吞吐量和短周期时间,并确保为客户提供可靠和通用的模型,从而降低生产成本并提高部件的整体质量。