二手 VERTEQ 1600 #9219679 待售

VERTEQ 1600光抗蚀剂设备是在各种基板上制造集成电路的最先进的工具。它能够处理直径从75毫米到450毫米不等的晶圆尺寸。该系统基于垂直扫描电子束（VSEB）光刻工艺。该单元提供了卓越的分辨率和阵列能力，其特征尺寸为半微米及以上。1600具有先进的光束控制机（BCS）,可精确控制光束对准并聚焦于晶圆表面。这样可以确保工具产生的每个阵列都非常精确。资产还具有其他一些有利的特点，包括内置的光学显微镜进行对准，所有对准参数的自动校准程序，快速和精确的阶段，以及快速和准确的覆盖程序。此外，该型号还提供了先进的晶圆加载设备和直观的用户界面。VERTEQ 1600为方便光刻工艺，使用了多种标准光刻胶。这些光刻胶可以量身定制，用于不同类型的基板和工艺，从而实现最大的灵活性和精确的特征工程。此外，该系统还提供各种曝光方法，包括激光扫描光刻和接触光刻。这样可以在生成特征时获得最大的精度,并确保没有一个暴露区域被另一个区域压倒。总体而言，1600光刻装置是生产高质量集成电路的强大而可靠的工具。先进的光束对准机、精密晶片级、高分辨率光刻胶和多重光刻方法都结合在一起，产生精确、精确、可重复的结果。这使得VERTEQ 1600成为高性能微电子的杰出选择。