二手 VERTEQ 1600 #9226188 待售

VERTEQ 1600是为1.6m x 1.6m基板设计的先进光刻设备。它利用了获得专利的HDR（高动态范围）成像工艺及其515 nm激光阵列,实现了大型基板的最佳成像精度和均匀性。其独特的HDR过程能够更快、更干净地曝光，没有光晕效果或其他图像失真。1600具有先进的曝光算法，以实现高分辨率成像和对能量敏感的基板更快的拍摄时间，同时避免基板失真和针孔。它还利用一个封闭的318nm UV源腔室来实现最大的图像一致性，以及一个180微米的最小分辨率来进行精密的光刻处理。VERTEQ 1600具有自动基板对准系统,可实现无缝、可重复的批处理,并提高生产率。用户友好的图形界面为特定于工作的任务提供了更轻松的可编程性,如偏差字段的校正、孔径控制以及定量分辨率和各向同性控制。此外，1600支持多种形式的基板运动控制，使其能够复制比传统系统更复杂的模式。广泛的流程和功能使VERTEQ 1600成为所有类型应用程序的通用工具。它非常适合实验开发和生产过程，广泛用于印刷电路板、平板显示器、高分辨率光刻、半导体器件和光学器件的制造。此外，1600是为了最大限度地提高能效和可持续性而设计的，其特点是有一个智能操作单元，没有危险废物或排放。这台机器还易于扩展，使其成为研究、教育和工业过程的理想选择。