二手 VERTEQ 1600 #9226189 待售

製造商
VERTEQ
模型
1600
ID: 9226189
晶圆大小: 6"
Spin dryer, 6".
VERTEQ 1600是由VERTEQ Corporation开发的一种先进的光刻胶设备,用于精确快速的光刻胶沉积。该光刻胶系统具有高通量的抗性涂层,适用于微电子应用。它可以向基材分配精确数量的光刻胶材料,以英寸/秒为单位将其分层成多层。1600为大批量生产提供了卓越的吞吐量,速度高达17 cm2/min。该装置具有变速和功率控制,可进行精确、精确的涂层和平整.这使得用户能够以最小的可变性将均匀厚度的光致抗蚀剂传递到基板上。该机器还具有先进的过程监控能力。存储过程数据和关键参数,如厚度值、分配速率和整个过程时间,并可以远程监视和访问。该工具还提供图形用户界面,操作方便方便。VERTEQ 1600配备了一个集成的分配头,用于精确的交付和水平控制。这种资产可以分散任何类型的液体光敏材料,从厚到很薄的粘度不等。分配头是可移动的,可以定位以优化覆盖整个基板区域。该型号还配备了先进的视觉设备,在沉积光敏材料时精确跟踪和成像基板的相邻位置。利用其先进的视觉系统,1600可以将精确的光阻沉积传递到基板的任何区域,从而产生高度可重复的图样。该装置设计方便设置和操作。凭借其内置的安全协议和自检模式,确保了一致、可靠的性能。用户友好的图形界面允许用户创建多达25个定制配方,以节省时间和金钱。总体而言,VERTEQ 1600是一种先进的光刻机,提供可靠的精度和吞吐量.它提供了一系列功能,使用户能够优化他们的微电子生产过程,实现优越的光刻沉积。保证用户具有无与伦比的性能、可靠性和出色的过程控制。
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