二手 VERTEQ 1600 #9234910 待售

VERTEQ 1600光抗蚀剂设备是一种先进的工具，用于从光掩模开始将图样消除为光抗蚀剂。该系统具有卓越的曝光精度和可重复性，是半导体制造和其他微加工应用的理想选择。1600利用专利光学列车,采用平场设计,消除了大多数像差,从而实现了极其精确的成像能力。集成的数字伺服电机振荡器、动态自动准直器反馈单元,以及内部对角伺服驱动的镜面安装,可实现高精度和可重复曝光等无与伦比的特性,以及快速轻松的对准。使用这台机器，在一个大的视场上可以达到5.0纳米的分辨率。该工具具有直观的用户界面和易于操作的触摸屏。其他功能包括打印报告、日志资产和用户可编程性。此外,开放式体系结构能够快速集成和扩展模型。此外,还可以在VERTEQ 1600的默认配置中添加几个可选附件。1600配备了功能强大、功能广泛、算法增强的集成处理器。此处理器可确保基板快速准确地曝光,还可通过用户可调节的设置对设备进行校准,以使用多种类型的光掩码。基板补偿、环绕暴露和边缘平方等附加特性进一步提高了精度。该系统与标准基板兼容，包括石英、石英/苏打、玻璃和熔融二氧化硅文件。它还与多种不同的光掩模类型配合使用，如DMD、铬和氧化铬。总之，VERTEQ 1600光刻装置具有较高的精度和可重复性，是高精度微加工应用的绝佳选择。该机以直观的用户界面、多功能集成处理器和可选配件为后盾，从而提供物有所值。