二手 VERTEQ 1600 #9245627 待售
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ID: 9245627
晶圆大小: 4"
Spin Rinse Dryer (SRD), 4"
Rated:
Voltage: 1Ø, 2 W, 220 VAC
Current: 50 A
Frequency: 50~60 Hz
Power consumption: 1.10 kW.
VERTEQ 1600是一种精密的光刻设备,能够在光刻过程中实现全面的控制和精确度。该系统是需要高分辨率的应用程序的最佳选择,在这些应用程序中,注册难度必须最小化。1600具有高精度的6轴铰接操纵臂和5轴旋转模块,允许最大程度的灵活操作基板。此外,VERTEQ 1600还具有一个正在申请专利的"顶板",它可以移动以满足基板要求,从而使设备无需任何接触即可快速采摘基板。这种精细的工艺结合了精确放置的基板和底板,可以在整个工艺过程中进行精确的定位和控制。1600支持4英寸和6英寸直径,从而在标准和非标准基板上提供高精度。该机器还提供用户定义的工艺控制和高分辨率成像功能,这些功能专门为晶圆级工艺配置,包括光刻微调、曝光、显影和湿法加工。先进的光学设计和波长精度为晶圆对准过程提供了精确的成像和可靠的操作。VERTEQ 1600为底物提供了优越的保护,使其免受环境灰尘或真空密封捕获工具造成的损坏。资产的低调设计使其能够适应通常不允许基于全吸盘的解决方桉的空间。它符合最新的安全协议,旨在尽量减少有害排放。1600模型提供了光刻的最高精度和可重复性,使其成为需要精确成像的应用的最佳选择。这种光致抗蚀剂设备专门设计用于处理晶片级工艺的严格要求,如光致抗蚀剂微调、曝光、显影和湿法加工。先进的光学设计、卓越的保护和增强的可靠性使该系统成为当今市场上最好的系统之一。VERTEQ 1600单元是研发和生产应用的理想选择。
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