二手 VERTEQ 1600 #9300474 待售

VERTEQ 1600
製造商
VERTEQ
模型
1600
ID: 9300474
晶圆大小: 6"
Spin Rinse Dryers (SRD), 6".
VERTEQ 1600是一种精密的光刻设备,其设计能够提供高精度和重复性,同时仍然可靠和用户友好。该系统非常适合半导体和类似薄膜器件制造行业的高精度蚀刻和抗剥离。它是一个自动化的、自成一体的单元,除了原始的光刻胶片外,不需要额外的外线或用品。该机支持单面或双面操作,适应了广泛的光刻膜厚度和树脂特性。1600利用一个特殊的高速干涉级,在大面积的光刻胶片上实现了前所未有的蚀刻和剥离均匀性。该阶段允许工具将自身精确定位到抗蚀膜上,并使激光束偏振,并将光束相对于遮罩形状和尺寸定位。该资产还具有精确的通过/失败诊断模型,可以快速轻松地测试质量控制。VERTEQ 1600实现的精确控制水平和均匀性确保了快速准确地进行蚀刻和剥离,不会损坏或污染薄膜材料。此外,由于不需要额外的外部用品,设备的运行风险降低了对周围环境的危险污染。该系统还具有直观的用户界面,具有易于理解的警报和命令。每个单元的命令都有两个可调节的参数,以便对光刻蚀刻/剥离过程进行精确控制。此外,该机还配备了一个强大的气刀工具,可调节以控制空气的温度和流量。1600的通用性和准确性使得它成为需要精确可靠的光刻蚀刻和剥离的薄膜器件制造行业的绝佳选择。如果用户正在寻找既能蚀刻又能剥离薄膜光阻而又不会使设备面临污染或损坏风险的资产,那么VERTEQ 1600就是理想的型号。
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