二手 VERTEQ 1600 #9383555 待售

製造商
VERTEQ
模型
1600
ID: 9383555
Spin Rinse Dryer (SRD).
VERTEQ 1600是一款先进的光刻设备,旨在为玻璃、晶片、样品等基板提供可靠高效的光刻图桉。利用激光抗蚀剂处理技术,实现了半导体加工的高精度模式复制和均匀性。1600是二十多年前沿研发的高潮。它具有高度可配置的平台,允许工程师通过精确控制各种参数(如波形、扫描速度、分辨率、功率和脉冲宽度)来优化流程。该系统采用专利双光束书写单元与先进的光刻和计算机控制,使无缝制造。这种安排允许高速工艺速率和行业中可用的最高精度。VERTEQ 1600配备了两个高速微米间隔、激光驱动的扫描头,并带有先进的对准稳定性和分析能力。其自动特征识别机(AFR)设计为自动化复杂的对齐算法,可以相应地识别任何模式和位置。1600年使用的光敏材料是一种低成本、水溶性的聚合物材料,允许清洁、快速的应用和清洁过程。这样可以实现高吞吐量和可重复性,以及更高的产量。该工具还配备了自己的用户界面,允许操作员或通过机器的直接监视器进行控制。借助VERTEQ 1600,操作员能够实时监控和调整流程参数,从而提供无缝一致的流程控制。1600是制造小批量平均尺寸基板或高价值基板精密加工的绝佳选择。其强大的设计和快速的吞吐量使其成为经济高效且可靠的解决方桉,可轻松集成到现有流程中。
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