二手 VERTEQ 1800-50 #9383157 待售

VERTEQ 1800-50
製造商
VERTEQ
模型
1800-50
ID: 9383157
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Spin Rinse Dryer (SRD), 8" Process: Cobalt 1995 vintage.
VERTEQ 1800-50光刻设备是光刻光刻操作的强大而先进的解决方桉。它利用最先进的技术来实现正向光刻加工的最高精度。该系统使用先进的光学器件,为设备维修/更换和其他敏感的光刻胶工艺提供最大精度和性能。该单元包括一个晶圆处理站,一次最多可移动50个晶圆。它还配备了集成的图像对齐器和无掩模光刻头。图像对齐器提供了从设计布局到晶圆的精确和自动的平版印刷模式传输。光刻头有一个照相机,用来监控书写过程,验证光刻胶的正确对准。它也是用来对光刻胶成像的光源。该机器具有高精度的自动晶片定位,用于确保多个晶片上图样的重复精度。它还包括一种光阻涂层,将正确水平的溶剂施加到晶片基板上,并在制图过程中将其固定到位。通过工具对曝光时间、对准和掺杂的自动控制,进一步确保了模式的高质量。除了资产的自动化组件外,1800-50还具有手动对准过程,这样可以对基板的图样进行快速、准确的校正。该模型还包括一个先进的警报设备,帮助检测任何错误或故障的模式过程。最后,系统配备了诊断和分析包,可以对晶片及其图样进行详细评估。此分析包包含一个高级模式分析引擎,用于确定模式的质量,并且可以检测产生的数据中的任何异常。
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