二手 VERTEQ 1800-50 #9383159 待售
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VERTEQ 1800-50光抗蚀剂设备是一个多用途且高度可靠的模式传输和晶圆生产平台。它非常适合生产各种元件,包括半导体器件、显示器和密集元件封装。该系统配备了许多功能和组件,旨在最大限度地提高光刻工艺的效率和精度。它包括一个全自动的高速输送机单元,带有一个装载平台和一个卸载平台。卸载平台采用真空辅助机构,提供温和、均匀的装卸动作。这台机器还配备了顶装口罩盒式磁带托盘,以确保口罩的快速和轻松转换。此外,它还配备了自动跟踪机,提供面罩与晶片的精确对准,以实现高度精确的对准。该工具的工艺室配备了明亮的LED照明,可提供出色的照明效果,以及强大的台阶和重复对准资产,可对口罩进行异常精确的定位。一个复杂的模式识别模型使操作员能够快速识别模式并将其精确传输到晶圆表面。此外,可以对设备进行定制,以满足具体的生产要求。它配备了允许定时曝光和可编程处理的软件,以及支持自动化和高速制造的高级可编程配方池。它还能够自动控制和管理掩码对齐和曝光过程中涉及的所有进程,并提供了一整套诊断工具,用于检测和管理掩码对齐和曝光过程中的错误。该系统基于模块化设计构建,使其能够快速适应不断变化的制造需求。该装置利用最先进的安全特性来模拟制图过程中使用的条件,并提供有效的空气净化和温度控制。此外,高效的空气洗涤器和除尘器有助于确保清洁的环境,允许一致的暴露读数。总体而言,1800-50光刻机是寻求通用、可靠、经济高效解决方桉的半导体制造商的绝佳选择。它能够满足精确模式传输的最严格要求,同时为晶圆生产提供高效、高度可靠的平台。
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