二手 VERTEQ 1800-6 #80289 待售
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ID: 80289
晶圆大小: 8"
Double stack SRD, re-manufactured, 8"
Non contact labyrinth rear bowl seal (New)
Micro Processor controlled programmable controller
RA10 Finished bowl (New or Hand polished back to original surface)
8” Rotors for low or high profile cassette (New)
Door/window with treated surface (New)
Hub (new or polished back to original surface)
Door Seal (New)
Spray Nozzles (New)
DI/N2 Valves (New)
EPO
Static Eliminator (New PFA rings)
Refurbished Motors
Resistivity
Guaranteed Particle counts < 20 at .15 micron
17 meg Ohm DI water and class 1 N2.
VERTEQ 1800-6是一款紧凑、高性能的光刻设备,非常适合工业用途。该系统设计用于印刷电路板和晶片上电路的开发、蚀刻、清洁和剥离。该装置具有自动重复的能力,能够以极高的精度和精确度处理不同的基材。1800-6具有高分辨率的MegaVis成像机,能够生成被处理材料的高精度图像。此工具还具有先进的多节段解决方桉交付资产,可将其编程为在不重迭或应用过多的情况下将正确数量的光刻胶应用于某个区域。该模型还具有可编程的多级覆盖自动化设备,可以配置为在插入和提取产品之前提供预先编程的停留时间。这有助于允许用户控制和可重复的解决方桉。该系统使用12英寸的气缸盖,以确保基板和光阻板之间的均匀接触。光阻板设置在真空室中,用于隔热和维持所需的压力水平。另外还有一个可调节的冷却装置,以尽量减少加工区域的污染。该机具有先进的表面检测工具,可用于检测感兴趣的区域,避免接触和污染。光敏电阻板可以在腔室内部四处移动,以提供所需区域的清晰视图,并且可以调整板本身以适应波动的温度,并减少基板和板之间的热冲击。VERTEQ 1800-6为光抗蚀剂应用于基材和晶圆材料提供了精确、可靠、用户友好的体验。它专为在专业环境中使用而设计,能够以极高的速度和精确度处理高容量。强烈建议将这一资产用于任何需要精确结果且资源浪费最少的工业应用。
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