二手 VERTEQ 1800-6 #9070696 待售
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已售出
ID: 9070696
Spin Rinse Dryers (SRD), 8"
(1) Single chamber
(4) Double chambers
Connections: CDA/N2, DI In, N2 In, DI Out
Currently warehoused
2000 vintage.
VERTEQ 1800-6是一种最先进的光刻设备,旨在加快和自动化用于制造电子器件的光刻工艺。它旨在解决即使是最具挑战性的抗性轮廓要求。1800-6采用135 nm分辨率的高性能投影系统,能够以极高的精度产生高保真图像。其高度先进的晶圆加工周期最大限度地减少了缺陷,提高了晶圆产量。VERTEQ 1800-6具有无室前端,因此无需多个晶圆处理组件来降低每个工艺步骤的质量。此单元可确保快速、准确和可重复的配置,从而产生优异的效果。它结合了一系列专为高分辨率、无影成像机而设计的光学元件,并具有紧凑、高速的设置/保持/清洁晶圆环境。1800-6还具有可靠的直接接触选项,无需大型加工罐和开发人员清洁。该工具是用优质材料制作而成的,旨在在广泛的环境条件下运行。它还具有强大的控制资产,可自动校准每个参数,使操作员能够快速设置和微调设备。除了准确性和灵活性,VERTEQ 1800-6被设计为用户友好和直观的使用。其用户友好的GUI界面允许访问深入的性能优化,同时保持安装和维护简单。该型号还支持范围广泛的180 nm及以下光刻胶,使用户能够快速适应任何材料或生产要求。1800-6是广泛光刻应用的理想解决方桉。它为极高的精度和简单的操作提供了一个可靠的平台,可以显着减少上市时间和提高工艺效率,使其成为任何光刻应用的全面设备。
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