二手 VERTEQ 1800-6 #9384907 待售

製造商
VERTEQ
模型
1800-6
ID: 9384907
晶圆大小: 2"
优质的: 2001
Spin Rinse Dryer (SRD), 2" 2001 vintage.
VERTEQ 1800-6光抗蚀剂设备是用于微电子器件制造的可靠、经济高效的成像工具。它利用了运动控制技术的最新进展,提供了卓越的均匀抗涂层和卓越的分辨率,以实现一致和精确的成像。该系统具有高级的多重曝光功能和各种兼容的抗蚀剂,允许精确地创建复杂的设备配置。该单元还包括一个用于在加工过程中控制抗蚀剂温度的坚固加热器模块,以及一个用于监测抗蚀剂涂层厚度的强大电导率监测器。1800-6 Photoresist Machine中使用的运动控制技术经过精心设计,可提供跨越多个轴的平滑精确运动,允许用户为复杂的成像应用编程精确的运动模式。该工具还包括激光对准资产,允许透镜和基板之间的精确对准。为了提高生产效率,VERTEQ 1800-6包括一个轮廓抗蚀剂管理模型,允许用户在成像过程中轻松调整基板上抗蚀剂的污染和均匀性。设备还配备了用于在处理过程中精确控制抗蚀剂温度的温度传感器,以及在成像过程中确保可预测和可重复压力条件的压力传感器监控系统。1800-6 Photoresist Unit还配备了一系列功能强大且直观的软件工具,包括一个集成的成像库,以帮助捕获复杂的图像。还有一个综合的后处理机,可以针对特定的成像应用优化结果。此外,该软件包还包括一个数据管理工具,该工具具有自动报告、集成的维护提示以及完整的数据和图像存档功能。最后,VERTEQ 1800-6 Photoresist Asset与包括丙烯酸、环氧树脂和novolac在内的多种光致抗蚀剂材料兼容,确保与电子设备制造中使用的大多数抗蚀剂化合物兼容。1800-6具有强大的特性和性能,是一个可靠且经济实惠的成像解决方桉,适用于小型和大型生产运行。
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