二手 VERTEQ 1800-6AL #9255500 待售

VERTEQ 1800-6AL是一种全自动化学机械抛光（CMP）设备，设计用于半导体器件制造的光刻材料。该系统采用集成控制控制台和自动化进给单元，可容纳各种晶圆尺寸和工艺规格。其光刻平面化设计在整个晶片上提供了更加均匀的表面光洁度，从而提高了产量和器件性能。CMP机采用化学机械抛光（CMP）技术，在光刻晶片上实现精确的表面平面化。它采用两相工艺，从化学蚀刻开始，以降低光刻胶层的表面粗糙度，然后用物理抛光来平整光刻胶表面。该工具配备了可以改变皮带张力的压板配置，以提供对晶圆表面接触压力的精确控制。资产反馈回路可确保整个晶圆的均匀抛光速率,从而提高工艺均匀性。1800-6AL使用集成控制控制台来管理CMP流程。它有一个自动进料模型，在处理过程中根据需要进料和重新装入晶片，并且配备了自动化抛光参数，可以很容易地针对不同类型的光刻晶片和所需的工艺进行调整。该设备还设有一个内置端点控制系统，可监测CMP工艺的端点，并根据需要调整工艺参数。该装置是专门为在半导体器件制造中与光刻晶片配合使用而设计的。它非常可靠、易于使用,并具有一系列自动安全功能,例如联锁和警报,以保护操作员和设备。它是晶片上光刻层平面化的一种经济高效的解决方桉，其均匀的光洁度降低了屈服损耗，提高了器件性能。