二手 VERTEQ 1800-6AL #9255507 待售

VERTEQ 1800-6AL光刻设备是为光刻应用而设计的集成抗蚀剂沉积和曝光后烘烤（PEB）系统。该设备具有高性能的抗蚀剂输送功能,以及先进的曝光后烘烤站,可提供专用的温度和时间设置,以优化工艺的可重复性。1800-6AL采用垂直配置,大大减少了占用空间并简化了维护。该机具有高精度、耐腐蚀、耐输送泵和真空文丘里管的特点，保证了光滑的抗沉积和一致的抗厚度。一个直观的用户界面提供了一个易于使用的工具，最多有十二个单独的配方，允许用户快速配置他们想要的抵抗环境。此外，该资产还配备了热板和控制温度或时间范围可调。曝光后烘烤站采用铝结构，热稳定性高，均匀性强。它还配备了一个高容量的加热抵抗盘，有助于在整个暴露过程中保持一致的抵抗温度。VERTEQ 1800-6AL模型非常适合各种光刻应用，设计时考虑了过程和操作员的安全。设备的一个关键特点是在发生多个过程故障时具有"故障安全"能力。此功能可确保在这些潜在危险情况下不会对系统造成额外损坏。该单元还设计为完全无维护,允许用户识别延长的使用寿命和最低维护成本。总之，1800-6AL光致抗蚀剂机是需要重复高精度抗蚀剂输送和均匀曝光后烘烤温度的应用的理想选择。它的设计考虑了过程和操作员的安全,并具有直观的用户界面和故障安全功能,使此工具成为高级光刻工艺的理想选择。