二手 VERTEQ 1800-6AL #9255522 待售

VERTEQ 1800-6AL是一种光致抗蚀剂设备,旨在提供精确、高效的基板阵列。该系统采用低压、高速、激光技术的曝光装置，具有精确的模式对准。曝光机能够产生0.25至1.5微米的分辨率，对于多倍技术，曝光量可达6紫外线波长。激光照射能够照射20瓦和50瓦激光功率，并且对对准层的照射也有偏振作用。该工具还提供无像差分辨率的高速无掩模阵列照明（MAI）曝光,以及高速轴同步曝光技术和被动热管理资产。该模型具有x、y、z测量和曝光自动化以及监控设备,可实现精确和可重复的模式。1800-6AL还包括一个多级卡带曝光站和一个曝光臂稳定系统。这两项功能都有助于提高流程稳定性和性能,并使设备能够高效、连续地运行。VERTEQ 1800-6AL非常适合传统的光刻工艺，如直接书写光刻和印记光刻，以及支持各种其他工艺步骤，包括湿处理和纳米颗粒沉积。该机可用于图桉广泛的基板，如液体-外延生长的器件层，金属，陶瓷，聚合物和玻璃。在安全方面,该工具符合CE标准,具有紧急停止和紧急访问功能,可在危险情况下快速关闭。此外,资产能够自动监控基板轮廓和阵列结构的对齐,确保所有工艺步骤都遵循最严格的公差。1800-6AL是一种精密可靠的光刻胶模型，具有优异的分辨率，提高了工艺稳定性和安全性。它的多倍激光曝光技术和自动监控设备提供了一致和准确的结果，使得这个系统非常适合一系列的光刻过程。