二手 VERTEQ 1800-6AR #9070694 待售
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ID: 9070694
Spin rinse dryer, (SRD), 8"
Single chamber
Connections: CDA/N2, DI In, N2 In, DI Out
Currently warehoused.
VERTEQ 1800-6AR光致抗蚀剂设备是世界各地许多生产过程的重要组成部分。该系统是一个功能强大、精密的单元,使用户能够使用多种方法和材料原料来构建、清洁和修理基板。该机由一个带内置光源的光罩对准器和一个精密的抵抗旋转器组成。光掩模对齐器用于使用一系列预定的掩模将基板分成特定的形状。然后,光学对准工具相应地对准裸露材料层。层暴露后,抗蚀剂旋转器再将光致抗蚀剂材料施加到基板上。可以使用不同的光致抗蚀剂材料来确保对激光辐射的敏感性,同时仍然保留敏感区域。精密抗蚀剂旋转器能够以高达18,000 RPM的速度旋转基板,以确保准确和精确的层沉积。在其最高设置下,旋转器以最小的偏差对基板施加均匀的厚度,从而允许精确放置层。它还具有低扭矩水平,使操作员在整个过程中移动基板时能够轻松保持恒定的旋转速度。旋转器还包括防漏空气支撑资产,以确保安全和空气敏感材料不受污染。该模型具有温度控制器,使基板上的空气保持恒定的纯度水平。该设备是电荷中性的,这就不需要额外的电源或直流源将抗蚀层绑定到基板上。此功能进一步减少了污染并简化了工艺过程,同时提高了层放置的准确性。1800-6AR光刻系统是一个高度先进和直观的单元,具有一致构建具有严格公差的组件所需的所有特征。这台机器是为商业供应商和最终用户设计的。
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