二手 VERTEQ 1800-6AR #9073860 待售

VERTEQ 1800-6AR
製造商
VERTEQ
模型
1800-6AR
ID: 9073860
晶圆大小: 8"
Spin rinse dryer, (SRD), 8".
VERTEQ 1800-6AR是为工业生产高质量光刻口罩而设计的最先进的光刻设备。该系统特别适合生产微处理器、半导体元件和MEMS元件。掩蔽过程是集成电路制造中的重要步骤,1800-6AR有助于减少此关键过程的时间和成本。VERTEQ 1800-6AR利用高性能的离子束溅射装置将光致抗蚀剂沉积到基质上。机器有一个六轴机械臂,以受控和均匀的方式移动基板,确保光刻胶在基板的所有表面上一致和准确的滴落。这允许以高精度创建大型和复杂的模式。1800-6AR配有强大的光源和先进的成像工具,以确保抗蚀剂的适当曝光。曝光率是可调整的,可以在不影响分辨率的情况下更快地曝出抗蚀剂。成像资产还可以检测模式结构中的缺陷,以便于缺陷检测和管理。VERTEQ 1800-6AR内置化学显影剂模型和精密喷水设备。化学显影剂系统除去未暴露在光线下的过量抗蚀剂。这样就可以快速、准确地开发模式。精密的喷水装置确保了光刻胶的精确、均匀的洗涤,从而产生了高质量的光刻面膜。除了高性能外,1800-6AR还拥有直观的用户界面。这使操作员能够从头到尾快速、轻松地编程和控制掩蔽过程。VERTEQ 1800-6AR还具有内置诊断程序,可在进行掩蔽过程时监视机器性能并检测问题。1800-6AR是一种可靠和高效的光刻工具,可用于生产用于集成电路的高质量光刻口罩。凭借其先进的成像资产、高精度的机器人臂和直观的用户界面,VERTEQ 1800-6AR是掩蔽过程的理想解决方桉,需要精确和快速。
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