二手 VERTEQ 1800-6AR #9228771 待售

製造商
VERTEQ
模型
1800-6AR
ID: 9228771
晶圆大小: 8"
优质的: 1993
Spin Rinse Dryer (SRD), 8" 1993 vintage.
VERTEQ 1800-6AR是专为微加工而设计的光刻胶设备。它是一种具有真空能力的机器,使用多柱配置来制作最精确的光刻胶图样。该系统在使用III-V材料等高灵敏度基板时特别有利,因为它提高了图桉精度和精度。这个单元的核心是它的旋转阶段,它允许基板在XYZ的所有六个方向上移动。这种运动,加上6轴机械臂,提供了放置薄膜抗蚀层的最高精度。机械臂还作为一对光子能源面板的载体,产生光刻过程中使用的紫外线。在1800-6AR机器中,机械臂和旋转级均由两台高性能伺服电机驱动,可实现广泛的运动范围和高重复性。此外,该工具还配备了可编程的温度控制工具,使工作环境和基板保持恒定一致的热量水平,从而实现最精确的模式。为了制作完美准确的图样,资产配备了激光和光学对准的集成模型。这确保了准确的曝光,同时允许基板以逐点方式曝光。这保证了一个没有偏差的统一模式的体验。VERTEQ 1800-6AR设备还配备了先进的数据处理和通信解决方桉。机械臂能够将数据从其测量系统直接传输到计算机,程序员和工程师可以在那里快速调整路由、压力和温度。这使系统在微加工过程中反应最快,灵活性最大。高精度的控制能力,加上出色的亚纳米精度,使得该单元非常适合以极高的精度和分辨率创建图桉。此外,该机器还提供集成但相当详细的错误跟踪系统,以及智能机器逻辑功能,可帮助检测错误并提供自动更正。这样可以确保无懈可击的生产产出。总体而言,1800-6AR是一种极为精确的光刻工具,具有广泛的特性和能力,可协助进行微加工。这种资产提供了最高的准确性,同时尽可能减少人际交往风险。该模型兼具自动化机器人和光刻引擎的能力,使其能够跟上现代技术的进步,并在要求最苛刻的微加工环境中提供精确度。
还没有评论