二手 VERTEQ 1800-6AR #9328733 待售

VERTEQ 1800-6AR是设计用于微电子制造的最先进的光阻设备。它是一个模块化的、高分辨率的、基于由机械模块、曝光模块和移动表组成的对齐表的一步光刻系统。该单元包括对齐表、步进/扫描仪模块和步进/掩码对齐模块。对齐表具有双轴（X, Y）可调线性级，精度为1.4 µm。步进/扫描仪模块由电动全孔径远心照明器、自动调节聚焦机和电动晶片级组成。步进/掩模对准模块允许将掩模精确覆盖到晶圆上。该工具由高级微处理器控制单元提供动力,该单元能够控制曝光过程的各个方面,从对齐检查到像素大小和曝光时间。该资产有一个嵌入式暗室，具有用于红外预曝光、后曝光和开发过程的全功率控制模型。该设备还设有一个综合粒子计数器，用于测量紫外线或I线工作室的清洁度，以及粒子/清洁活动监测。1800-6AR可提供高达12 µm的分辨率,特征尺寸小至2.0微米。该系统提供调谐带宽（FW/BW）,对所有非关键特性调谐小于20%,对短特性调谐分辨率高。该设备方便用户使用,可采用自动化或半自动格式操作,从而在不影响准确性的情况下实现高效的工作流程。VERTEQ 1800-6AR是一种可靠、高性能的光刻机床，在微电子制造应用中有着优异的记录。它的动态范围、高分辨率、易于使用的界面和集成的粒子计数器使其成为任何微电子实验室和生产环境的绝佳选择。