二手 VERTEQ 1800 #293816247 待售

VERTEQ 1800是一种高度通用的光阻设备,旨在实现先进的材料研究、纳米加工和光学光刻应用。该系统由两个主要组件组成：激光/光学子系统和样品安装子系统。激光/光学子系统由高功率（最多1800mJ个）激光器组成，其脉冲宽度范围很大，以符合手头应用程序的要求。它具有一系列可调节的特征，包括能够调整光束大小、焦点和扫描模式。该子系统还包括一个大幅面数码摄像机，具有宽大的视角，便于激光相对于样品的精确定位。样品安装子系统旨在确保光刻过程中的安装安全可靠。该单元包括一个可移动的检查罩，它允许快速和方便地检查样品表面。样品安装托盘的设计可容纳各种样品尺寸,从晶圆尺寸的样品到1英寸厚的样品。其集成的真空和被动对准系统允许在光刻过程中精确放置样品。总体而言，1800为先进材料研究、纳米加工和光学光刻应用提供了全面可靠的光刻机。其高功率激光器旨在为用户提供以惊人的精度和精确度创建各种功能的能力。此外，它的样品安装子系统在光刻过程中提供了一个安全可靠的安装，而它的内置检查罩使样品表面的检查变得容易。