二手 VERTEQ 1800 #293816933 待售

VERTEQ 1800是为满足微电子制造的多样化需求而设计的下一代光刻设备。该系统提供了一种快速、精确的方法来阵列复杂的3D结构与精细的分辨率级别。该单元能够创建垂直分辨率高达1.2 µm和横向分辨率低至5 nm的模式。1800机器包括许多不同的组件。该工具使用两个准分子激光源产生紫外线，然后将其定向到抗蚀剂表面。这种光破坏了抗蚀剂，使模式得以形成。资产还包括用于在激光器和抗蚀剂之间移动元件的传送带模型。该设备能够处理多种材料，包括聚酰亚胺、SiO2和BCB。它还具有加工各种基材的能力，如玻璃、石英和硅。此外,VERTEQ 1800还能够使用各种保护性涂层,包括自旋材料、防反射层和硬质口罩。该系统带有高度可定制的软件套件,大大简化了设计和创建模式的过程。此外,该软件还使用户能够利用实时反馈和校正功能来构建和完善模式。1800年的灵活性和速度使得它非常适合快速原型设计复杂的设计。总体而言，VERTEQ 1800是一个强大而可靠的光刻装置，提供了现代光刻中的多功能性和精确要求。它能够快速、准确地产生具有亚微米分辨率级别的阵列,这使其成为各行业制造商的宝贵工具。