二手 VERTEQ 1800 #9144794 待售

VERTEQ 1800是用于高精度光刻的先进光刻设备。1800由VERTEQ开发，是一种工业级工具，用于半导体和微电子制造，以及光学应用，如LED制造。VERTEQ 1800具有一个大的10 "x 20"板，能够处理直径可达9.5"的晶圆尺寸。这非常适合一次处理多个晶片，并允许高效生产具有低缺陷率的复杂结构和设备。该系统还实现了一个自动晶片处理单元，将晶片从装载机安全输送到曝光室。使用集成的电动x-y级，光刻胶以有组织和可重复的方式分配。对于精密光刻,1800具有6轴光刻头,能够以卓越的一致性方便分辨率高达4 µm。这是通过使用可变蒙版轮廓机（VMPS）实现的,该机与精密齿轮驱动的机械级协同工作,以确保对准精度。该工具还可以在手动模式下使用，允许用户快速、轻松地创建自定义模式。VERTEQ 1800采用先进的专有软件，使用户可以轻松控制光刻资产，优化曝光时间、分辨率、对比度等变量。为了实现更大的控制,模型可以与其他生产工具连接,从而实现自主操作。除了标准的特性范围之外，1800还有一些附加功能，使其与其他光刻胶系统脱颖而出。例如，设备具有专用的基板加热功能，可确保先进加工的最佳温度。该系统还具有集成的3D成像功能,可实现功能尺寸不超过几纳米的无损成像。最后,该设备配备了一系列复杂的安全功能,确保了安全高效的环境。VERTEQ 1800是一款功能强大、可靠的光刻机，旨在精简复杂微电子和光学元件的制造。1800具有大板尺寸和精密的集成功能,是高端生产环境的理想工具。